黃光製程設備工程師的工作內容

Question

我想了解黃光製程工程師的工作內容,工作環境等等相關的資訊.
請各位前輩多多幫忙,謝謝

Answer 1

工作內容:1.調整recipe一些參數~使製程更穩定~例如wafer要光阻覆蓋那製程就要設定wafer進coat槽時要噴光阻液幾秒~旋轉幾秒~進熱板多久溫度多少等等~2.新製程的研發~當然這時對recipe的自主率比較高~3.提升良率~產品有問題時就要去研究那裡出問題~並跟設備工程師討論是否是硬體方面的問題~工作環境:1.就是在黃色的燈光下工作~~黃光區是用來作微影製程的區域~晶圓在進入曝光機台進行曝光前~需先由光阻塗佈機塗上一層固定厚度的光阻~再送到曝光機台進行曝光~曝光後經過顯影~定影步驟~才算完成微影製程~因為光阻劑對黃光比較不敏感~所以不會影響到晶圓的曝光製程~若是在白光照射下~未完成步驟且塗上光阻的晶圓就等於是曝光了~就得不到所需要的圖案~2.化學品就光阻液~顯影液~還有其他如IPA~aceton~等等ㄉ~~味道不重你聞不太到主要是設備比較會去接觸到~~不過都有防毒面具可戴~~擴散.蝕刻.薄膜.黃光的危險性比較~黃光的危險性比較低~~1.擴散-有毒氣(致命性)~放射線~爐管(這東西活活窒息過幾個年輕的設備)2.蝕刻-有毒氣(多半是窒息性)~強酸(尤其氫氟酸會腐蝕骨頭)~高壓電3.薄膜-毒氣(窒息性~高度爆炸性)~高溫~高壓電4.黃光-光阻液惡臭製程工程師不錯啦~~接觸危險的東西比設備工程師來的少~