請問一下TFT(LCD)在第一階段製程過程中Array製程是什麼意思呢謝謝您的熱心回覆
2006-04-24 22:55:30 · 1 個解答 · 發問者 ? 7 in 科學 ➔ 化學
Array製程為TFT-LCD之最主要技術,其原理是在玻璃基板上利用導電體塗佈/微影照相及曝光顯像等精密技術,製作出所須之電極基板,作為傳遞訊號/電壓控制之元件(即所謂薄膜電晶體;TFT),其製程概述如下:A. 將玻璃基板入料清洗後,於其上塗佈靶材之薄膜,靶材原料為金屬(如鋁鉻)或半導體薄膜(如ITO),以做為導電電路之基材.B. 於前述薄膜上均勻塗佈光阻,並利用已經微影照相完成之光罩來進行曝光,當光阻完成曝光/顯像工程後即獲得所須之導電線路.C. 利用蝕刻液可將不需要之金屬或半導體膜去除,僅留下光阻所保護之到電線路膜,最後再利用剝離液將表面之光阻去除後,僅屬或半導體之導電線路膜即可成型.D. 重複上述程序約5~8次(分別針對各金屬或半導體膜)後,即可完成薄膜電晶體之電極基板(或可稱為上基板).其實這些製程有些類似晶圓代工業的製程.
2006-04-25 11:50:30 · answer #1 · answered by ? 6 · 1⤊ 0⤋