關於半導體製程中，有一段是「黃光製程」，為什麼選擇黃光?(太陽光或是鎢絲燈光不行嗎?) 謝謝回答
2006-02-26 16:36:03 · 2 個解答 · 發問者 PONI 2 in 科學 ➔ 其他：科學
因為所謂黃光製程就是微影製程。
而微影製程，基本上即是上光阻劑(在晶片上塗佈上光阻劑)、軟烤(增加光阻劑在晶片表面附著力)、對準及曝光(將在光罩上的元件設計圖形轉移到光阻上)、烘烤(降低駐波效應)、顯影(光阻形成元件設計圖形)、硬烤(去除殘餘溶劑，增加光阻強度)。
有些簡單的製程可能簡化到剩上光阻、曝光)、顯影，但都離不開此製程的主角：光阻劑。
光阻劑是感光材料(與傳統相機的底片上感光材料相似)，在半導體製程會選用對紫外線(UV)靈敏的感光材料，因為對UV敏感，對藍光、綠光多少也有些反應。但是沒有照明，人看不到又沒辦法操作，所以需要有照明的光源，但又不能有藍光、綠光，所以就使用黃光為照明(用紅光比較不清楚，所以以前風化場所用紅光來照明，讓每個化濃妝小姐看起來都是美女，粗糙的皮膚看起來都好像很細膩)。
2006-02-26 04:05:33 · answer #1 · answered by flj 4 · 0⤊ 0⤋
黃光波長較長阿~能量較低!
其實要先考慮會不會感光~人是其次!
如此精密人是無法用手做的!
會感光的光!就不能用了!
就曝光了媚!!!!
要看他是正光阻或負光阻!
用的光也會有所不同!!!
現在為了要奈米化~減低因為波長帶來的駐波效應!
x-ray都派上用場了!
2006-02-26 07:23:33 · answer #2 · answered by eason 2 · 0⤊ 0⤋