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請問在微機電製程中(黃光室)
在實際進行製程(微影蝕刻薄膜沉積)或實驗之前的電腦模擬
有哪些應用模擬軟體?(以前用過一兩種現在連名字都忘了)
懇請各位指示,或者各位前輩目前使用哪種軟體呢?

2005-12-29 05:42:48 · 1 個解答 · 發問者 Anonymous in 科學 工程學

1 個解答

你好....我現在在學校所用的模擬軟體有二種。TS4:用來製作元件的製程(沉積蝕刻氧化微影..等)。 MEDICI:對所模擬出來的元件畫自己想要的曲線(如IV曲線...等)。不知道對你有沒有幫助~~

2005-12-29 09:56:45 · answer #1 · answered by ? 2 · 0 0

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