請問何謂微機電??

Question

最近常聽到微機電這個名詞....BUT它到底是什麼咧??
主要可以用在哪方面或是哪些用品上呢??
請好心人士給個答案吧....超疑惑的!!
感激不盡~~ ^^

Answer 1

參考清大動機微機電實驗室 http://mdl.pme.nthu.edu.tw

ＭＥＭＳ時代
資訊電子是我國高科技產業的龍頭。近年來，我國已經在個人電腦主Big5_Download_ClassText.htm板、掃描器等多項產品的產量上高居世界第一位，但其獲利卻仍比不上僅佔全世界不到5%的IC代工業，而我國的IC製業利潤又比不上設計及製造微電腦中央處理晶片（CPU）的英代爾（Intel）；理由是製造勝於組裝，而設計更優於製造。靠勞力的組裝工業時代已經過去，目前依賴設備生產力的量產製造時代已接近尾聲，未來是靠腦力的智慧商品化時代。

近半個世紀以來，微電子從粗糙的單一電晶體到集有數百萬顆電晶體的微電腦晶片，人類已經享受到它所帶給我們的無窮的方便與樂趣。如今，微電子產品幾乎無孔不入地影響到生活的每一個面向，而這不過是把電子這一部份縮小而已。試想，若也能同樣把Big5_Download_ClassText.htm械與光學部份縮小，是否會為我們的生活帶來另一波的衝擊？從另一個角度來看，若把微電腦比同腦部，我們是否仍欠缺感受與發出各類信息的眼、耳、鼻、舌與四肢？微Big5_Download_ClassText.htm電系統（MEMS）的科技就是這種能縮小Big5_Download_ClassText.htm械、光學，且能感受聲、光、電、磁、味、冷、熱以及運動的系統科技，將是廿一世紀重要的產業科技，是智慧型高單價的產業技術。
這就是ＭＥＭＳ
微機械製造（Micromachining）技術是利用半導體的製程來製造微小的懸臂樑、薄板、齒輪、閥門等機械元件，這些元件的尺寸甚至可小於微米（百萬分之一公尺）。因此該技術可被利用來製造出和頭髮直徑一般大小之馬達。在1960年代中期，利用半導體製程製造機械結構於矽晶片上的概念被提出後，吸引了許多人投入該技術的研究。到了1970年代中期，利用該技術製造結合機械和電子元件的半導體感測器，成功地被開發。1980年後，和該技術相關的研究，如雨後春筍般的被提出，而研究內容也不侷限於感測器，還包含一些複雜的機構與元件，如幫浦、閥門、齒輪、馬達、夾子等等。一門新的研究領域稱為微機電系統（Microelectromechanical System，或簡稱MEMS），歐洲則普遍稱之為微系統技術（Microsystems Technology，或簡稱MST）因而成立。由於這項技術的逐漸成熟以及應用的範圍逐漸擴大，研究人員已將目標訂在發展一個完整的微型系統，系統包含感測、致動、訊號處理、控制等多項功能，例如微型機器人和微型硬碟機。MEMS技術具有下列優點：

(1)可將機械結構和電子線路整合。
(2)可批量製造（batch fabrication）使成品造價降低且品質均一。
(3)縮小成品尺寸但增高精度。

因此MEMS技術可用來製造許多低成本的感測器和致動器，目前應用MEMS技術生產的商業產品有：壓力計、加速計（accelerometer）、生化感測器、噴墨印表機噴頭（ink jet printer head）、及諸多可丟棄式醫療用品等等。由於MEMS技術除了本身具有多方面的應用外，也關係未來多項關鍵工業的發展，如國防、生物等科技，因此各先進國家皆投入大批人力與財力進行研發。其中最早踏入此一領域的是美國，早期藉由學校和數間私人企業如Texas Instruments、IBM、Analog Devices、NovaSensor、和Honeywell等合作進行研發，近年來，美國政府更透過國防部的尖端技術研究計畫局（DARPA）積極投入MEMS的研究。日本自1991年起由政府成立一研究中心（Micromachine Center，或簡稱MMC），推動為期十年的國家型計畫。德國也在政府規畫下，自1990年起推動為期十年的MEMS研究計畫。歐洲還有許多國家也正積極進行MEMS的研究，例如瑞士、瑞典、荷蘭、和法國等國家。

目前國內除了學校外，也有許多單位參與MEMS的研發，如工研院、精密儀器發展中心、同步輻射研究中心、高速電腦中心、中科院等。未來南部科學園區，更將MEMS列為發展的三大方向之一。希望在各單位的努力下，為我國開創另一高科技的產業。

Answer 2

可進一步參看滄海書局出版之"掌握微機電"

http://www.tsanghai.com.tw/news/chinese/c-books/EE0306.htm

2008-12-01 17:30:47 補充：
滄海書局出版之"掌握微機電"網頁已改
http://www.tsanghai.com.tw/book_list.php?cPath=29_374

Answer 3

微機電系統(micro electrical mechanic system, MEMS)與半導體積體電路(IC)因為體積都很小，所以都是用 "半導體製程" 製作出來的裝置顧名思義，積體電路指的就是各式電子元件，用來處理或產生電子訊號，例如各式開關元件用以使電子信號通過或阻斷，或各式電容用以儲存電子信號同樣的微機電系統就是微型的機電整合系統，例如微致動器(micro acuator)，其結構包含至少一對梳狀電極，其梳齒相對交錯排列，利用對該梳狀電極通"""電"""，使該梳狀電極產生吸引或排斥的靜電作用力，而使""""微機械""""結構直線運動或轉動‧或者微感測器之作用原理則相反，例如流量計，""""微機械""""結構因受到外力作用而產生運動或變形，而改變"""電場"""，因此可以用來量測